Page 24 - HZR防静电产品画册2021
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HZR-DC5819
产品概述
■ HZR-5819直流离子棒可用在型洁净室内,可通过5800
控制台和软件操控多条连接的离子棒,提供高离子输出量,
能快速中和晶圆或工作台上的静电,DC5819直流空间离
子棒的设计是为了为环境系统、层流柜和工作台的静电控
制,可提供多种长度的离子棒,在层流风的使用下,中和静
电,采用脉冲直流和连续直流技术,提供均衡的静电控制,
与室内离子系统一样,DC5819直流离子棒的离子平衡和
输出功率都可调整,调整方法为软件和遥控器。
■ DC5819直流离子棒可提供多种静电针(钨合金,钛合金,单晶硅针),多种材质静电针可适用多种环境,单晶硅材质
静电针可在生产晶圆时采用,不选配单晶硅静电针的情况下可选择钨合金与钛合金静电针。
■ DC5819直流离子棒在使用软件或遥控器控制时,都可提供提供全面的离子棒控制,可设置工作模式调整:脉冲直流
模式,普通直流模式,待机),正负电离同步开关时间,输出功率调整,只消除正电,只消除负电,高压异常报警,清洁周
无风DC离子棒系列
期报警等功能。在近距离30厘米以内建议用普通直流模式,在远距离下使用可用脉冲直流模式。
特点 优点
◇ 棒状静电消除器 ◇ 覆盖面积广泛,长度可定制
◇ 有顺序的双极性电离 ◇ 开启时间与关闭时间可调整,提供最有效的电离效果
◇ 正和负输出功率可调节 ◇ 根据气流环境,1-99比例精确调整正负的输出功率
◇ 报警装置 ◇ 可监控高压输出状态,在高压异常时红色LED灯报警提示
◇ 遥控器控制 ◇ 可用遥控器控制离子棒工作状态
◇ 软件控制 ◇ 可用软件控制离子棒工作状态
◇ 独特外观设计 ◇ 可在层流风下中和静电
19 HZR静电防护专家 www.esd-hzr.com