Page 7 - ESDMAN中文产品册
P. 7
无风DC离子棒系列
001-5819
产品概述
001-5819直流离子棒可用在型洁净室内，可通过
001-5800控制台和软件操控多条连接的离子棒，提供高离
子输出量，能快速中和晶圆或工作台上的静电，001-5819
直流空间离子棒的设计是为了为环境系统、层流柜和工作
台的静电控制，可提供多种长度的离子棒，在层流风的使
用下，中和静电，采用脉冲直流和连续直流技术，提供均
衡的静电控制，与室内离子系统一样，001-5819直流离子
棒的离子平衡和输出功率都可调整，调整方法为软件和遥
控器。
001-5819直流离子棒可提供多种静电针（钨合金，钛合金
，单晶硅针），多种材质静电针可适用多种环境，单晶硅
材质静电针可在生产晶圆时采用，不选配单晶硅静电针的
情况下可选择钨合金与钛合金静电针。
001-5819直流离子棒在使用软件或遥控器控制时，都可提
供提供全面的离子棒控制，可设置工作模式调整：脉冲直
流模式，普通直流模式，待机），正负电离同步开关时间
，输出功率调整，只消除正电，只消除负电，高压异常报
警，清洁周期报警等功能。在近距离30厘米以内建议用普
通直流模式，在远距离下使用可用脉冲直流模式。
特点 优点
棒状静电消除器 覆盖面积广泛，长度可定制
有顺序的双极性电离 开启时间与关闭时间可调整，提供最有效的电离效果
正和负输出功率可调节 根据气流环境，1-99比例精确调整正负的输出功率
报警装置 可监控高压输出状态，在高压异常时红色LED灯报警提示
遥控器控制 可用遥控器控制离子棒工作状态
软件控制 可用软件控制离子棒工作状态
独特外观设计 可在层流风下中和静电
产品规格
离子棒 001-5819
输入电源 24VDC
设定方式 遥控器、监控软件
输出离子高压 0～20KVDC±10% 可单独调整正负高压输出比例
输出电流 <15uA，限制电流避免触电危险
接口 每根棒两端都有
控制 可设置0-15秒@0.1秒调整级别的精准时序
操作模式 脉冲直流/普通直流/待机
静电针材质 钨合金，钛合金，单晶硅，可更换，寿命与环境有关，约2-3年
警报 LED(红色)：离子棒高压异常时将亮灯
维护 建议每隔3-12 个月进行修正(依照环境情况而定)
臭氧 0.005ppm 以下
安装方式 配有固定支架
使用环境 温度：18°C-27 °C 湿度:40-60%RH（无冷凝）
外型尺寸 W3.7cmxH5.9cmxL57/72/90/113/140/164/192/215cm
重量 605g(长度72cm)
保修期 一年
认证
05
